普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀使用背景
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備,在投入使用前,就要先進行檢漏,使用中也要定期進行檢漏檢查。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池,閥門、精密儀表、機械加工、電力、電廠、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀支持正壓檢漏,負壓檢漏,自動跟蹤本底,提供快速可靠的測量結(jié)果,優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應,高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確??焖偾搴ぃС值獨馄瓶?,不受環(huán)境氦氣干擾,快速降低本底,機器的性能支持7*24小時長時間在線測試,機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試,配有檢漏口精細過濾器,過濾細微雜質(zhì),確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷,雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設計,防大氣沖擊,支持定制檢漏工作臺,更加便捷使用。